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為什么半導體車間都會安裝廢氣處理設備
文章來源：睿馳環(huán)保 人氣：0 發(fā)表時間：2022-12-30
為什么半導體車間都會安裝廢氣處理設備，因為半導體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機廢氣等，在排放到大氣之前通過VOCs廢氣處理設備去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設備。因此我們睿馳提出安全可靠的廢氣處理裝置以及RTO蓄熱式焚燒設備，能夠對這些氣體進行有效處理。
半導體車間廢氣處理設備選擇標準：
(1)半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設備的處理能力，綜合考慮農藥的壽命、前后與設備的關系等多種情況，挑選合適的處理方法和設備。
(2)半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個獨立的系統(tǒng)。
(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道采用不燃材料。
(4)不可以讓半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動，或準許大量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。
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